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NANOSCIENCES

fabrication à façon de circuits nanométriques et de dispositifs électroniques à l’échelle du millionième de millimètre, mêlant à la fois optique, électronique quantique, nanomagnétisme, physique statistique et physique des matériaux	Nanostructure Caractérisation Électronique quantique
deux salles blanches : l’une dispose sur 110 m2 d’un aligneur de masque et d’un évaporateur pour lithographie optique, de divers appareils de dépôt pour gravure sèche ou chimique et de pulvérisation cathodique. L’autre comprend des machines de dépôt couche mince et de lithographie électronique. une salle de microscopie une zone de caractérisation, découpe et soudure	Pierre-François Orfila Tel. : 01 69 08 73 19 pierre-francois.orfila@cea.fr relation.entreprises@cea.fr www.cea.fr

Ultra miniaturisation

Financé par le CEA et la Région Ile-de-France, l'atelier de nanofabrication de l'Iramis fabrique à façon des dispositifs électroniques comprenant des détails jusqu'à l'échelle de 10 nanomètres, en combinant lithographie optique et électronique, et déposition ou gravure de couches minces. Modernisé en 2007, ce laboratoire labellisé “centrale de proximité”, rattaché au Laboratoire de Photonique et de Nanostructures (cnrs) de Marcoussis, se compose de deux salles blanches équipées de divers équipements pour la lithographie optique, le dépôt de couches minces et la gravure sèche ou humide, ainsi que l'observation et la caractérisation. Enfin, un masqueur pour la lithographie électronique est en cours d'installation. L'ouverture de l'atelier au secteur privé se fait dans le cadre de collaborations avec les chercheurs du CEA travaillant notamment dans les domaines de la nanoélectronique quantique, du nanomagnétisme, de la spintronique et de l'électronique moléculaire. * Iramis : Institut rayonnement matière de Saclay.