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Nanocarac

Des moyens de caractérisation répartis dans huit centre de compétences : Analyse de surface Analyse de traces Analyse de faisceaux d'ions Analyse par rayons X Caractérisation optique Microscopie électronique Microscopie en champ proche Préparation et conditionnement d'échantillon, Y compris un laboratoire de métrologie pour l'activité en salle blanche	Imagerie Profils Cartographie Etats de liaisons chimiques Composition chimique
Un parc d'équipements au meilleur niveau international, ouvert à la fois aux équipes du CEA, aux laboratoires académiques et aux industriels. 2200 m² de laboratoire 40 équipements lourds Plus de 100 équipements de métrologie en ligne 80 chercheurs et étudiants.	Pierre-François Orfila Tel. : 01 69 08 73 19 pierre-francois.orfila@cea.fr relation.entreprises@cea.fr www.cea.fr

Ultra miniaturisation

Financé par le CEA et la Région Ile-de-France, l'atelier de nanofabrication de l'Iramis fabrique à façon des dispositifs électroniques comprenant des détails jusqu'à l'échelle de 10 nanomètres, en combinant lithographie optique et électronique, et déposition ou gravure de couches minces. Modernisé en 2007, ce laboratoire labellisé “centrale de proximité”, rattaché au Laboratoire de Photonique et de Nanostructures (cnrs) de Marcoussis, se compose de deux salles blanches équipées de divers équipements pour la lithographie optique, le dépôt de couches minces et la gravure sèche ou humide, ainsi que l'observation et la caractérisation. Enfin, un masqueur pour la lithographie électronique est en cours d'installation. L'ouverture de l'atelier au secteur privé se fait dans le cadre de collaborations avec les chercheurs du CEA travaillant notamment dans les domaines de la nanoélectronique quantique, du nanomagnétisme, de la spintronique et de l'électronique moléculaire. * Iramis : Institut rayonnement matière de Saclay.